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濺射靶材是濺射過程中高速度能的離子束轟擊的目標(biāo)材料，是沉積電子薄膜的原材料。濺射靶材是平板顯示、記錄媒體、太陽能電池和半導(dǎo)體這四大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域生產(chǎn)所需的關(guān)鍵...

材料、能源、和信息技術(shù)被譽(yù)為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的三大支柱，尤其是材料科學(xué)技術(shù)，其發(fā)展更是得到了廣泛的高度關(guān)注。世界各工業(yè)發(fā)達(dá)國家都十分重視材料技術(shù)的發(fā)展，尤其是先進(jìn)材料的研...

中子是研究物質(zhì)結(jié)構(gòu)和動力學(xué)性質(zhì)的理想探針，中子不帶電，穿透力強(qiáng)，具有磁矩，可用它作為探針研究物質(zhì)的微觀結(jié)構(gòu)和運(yùn)行狀態(tài)。中子散射技術(shù)已在很多基礎(chǔ)學(xué)科，如凝聚態(tài)物理、化學(xué)、生...

1、靶材的定義靶材是通過物理氣相沉積（PVD）技術(shù)鍍膜的濺射源。它利用高能量的離子束轟擊所需濺射鍍膜源材料的表面，高速離子撞擊到源材料表面，與其表面原子發(fā)生動能交換，使想要鍍...

涂層刀具的出現(xiàn)是刀具發(fā)展史上的一個重要里程碑，解決了刀具材料硬度和耐磨性愈高、強(qiáng)度和韌性愈低的矛盾。 涂層刀具與新一代高速機(jī)床及工具系統(tǒng)相結(jié)合[1]，使高速切削、干式切...

目前, 刀具涂層工藝通常為采用多弧離子鍍膜方式或磁控濺射鍍膜方式在固體陰極靶材上蒸發(fā)金屬，沉積在刀具基體上形成膜層，其膜層從 TiC、TiN二元模式發(fā)展為以 Ti、N 為主要元素...

鈦材在航空航天領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用， 對其性能提出了更高的要求，寶鋼、西北有色院等大量研究了變形和熱處理制度對鈦材組織和性能的影響[1-2]。TiN 薄膜具有高的耐磨性、高的硬...

釕(Ru)位于元素周期表中Ⅷ族和第五周期，為鉑族金屬，與鋨元素性質(zhì)最為相似。1840 年，俄國人克勞斯在處理礦渣時，偶然發(fā)現(xiàn)了貴金屬釕，這是釕的首次發(fā)現(xiàn)，是貴金屬元素中被發(fā)現(xiàn)最晚的...

引言鈦和鈦合金材料因其應(yīng)用價值非常高，被廣泛應(yīng)用于多個尖端科技制造領(lǐng)域，比如：艦船、航空航天、太空飛行器等。同時，在化工生產(chǎn)、石油、電力等決定著國家經(jīng)濟(jì)命脈的產(chǎn)業(yè)中，鈦和...

引言多孔鈦結(jié)合了鈦與多孔金屬的優(yōu)良特性，既保持了鈦的優(yōu)良物理化學(xué)特性，如比剛度高、耐磨性好、優(yōu)異的耐腐蝕性能和生物相容性，又因材料中存在大量孔隙產(chǎn)生了如超低密度、大的...

一，阻尼合金的發(fā)展和應(yīng)用降低結(jié)構(gòu)振動和噪聲的方法通常有3種：增加結(jié)構(gòu)的質(zhì)量和剛性，以減少振幅。減少結(jié)構(gòu)共振；采用高阻尼材料實(shí)現(xiàn)吸振和隔振。高阻尼材料通常分為2類：一種是有機(jī)...

既往對于面部缺損創(chuàng)傷的處理方式為減張 -拉攏縫合或游離植皮修復(fù)，但前者會導(dǎo)致面部器官和重要標(biāo)志牽拉移位，且愈后瘢痕明顯；后者可因色素差異及遠(yuǎn)期色素沉著、局部凹陷或瘢痕化...

鈦及鈦合金具有密度小、比強(qiáng)度高、高低溫性能優(yōu)異、耐蝕性好等特點(diǎn)，在航空、航天、化工、冶金及艦船等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用［1－3］。目前焊接用鈦及鈦合金絲材(以下簡稱鈦焊絲)用量大...

1.3.1 磁控濺射靶材概述自 20 世紀(jì)末期以來，以微電子和信息行業(yè)為代表的高新科技產(chǎn)業(yè)的加速發(fā)展導(dǎo)致對關(guān)鍵性新器件和新材料(如信息存儲介質(zhì)、集成電路、平面顯示器等)的需求...

引言隨著集成電路不斷向大規(guī)模甚至超大規(guī)模發(fā)展，電子元器件尺寸越來越向微型化演變，芯片特征尺寸也逐漸縮小到深亞微米和納米的水平[1]。12英寸、微納米技術(shù)和銅工藝被稱為引...

1、引言鎳基高溫合金已經(jīng)廣泛用于制造航空噴氣發(fā)動機(jī)、各種工業(yè)燃?xì)廨啓C(jī)的熱端部件。多孔金屬作為一種新型材料具有很多優(yōu)點(diǎn)，而多孔鎳是一種新型高能量電池材料，具有優(yōu)良的流...

引言鎢材料具有抗電子遷移能力強(qiáng)、電阻率低、高溫穩(wěn)定性好、導(dǎo)熱及導(dǎo)電性能優(yōu)良等特性，是集成電路芯片制備過程中一類重要的基礎(chǔ)材料。 鎢材料主要以薄膜的形式應(yīng)用在半導(dǎo)體...

濺射靶材集中用于信息存儲、集成電路、顯示器、汽車后視鏡等產(chǎn)業(yè)[1]，主要用于磁控濺射各種薄膜材料。磁控濺射是一種制備薄膜材料的方法，利用離子源產(chǎn)生的離子，在真空中加速聚...

引言由于腫瘤、炎癥、損傷、先天性畸形導(dǎo)致的骨缺損，可使患者面部畸形，影響咀嚼、吞咽、語言功能?？谇活M面結(jié)構(gòu)復(fù)雜，缺損部位形態(tài)隨機(jī)，個性化特征非常明顯，對植入體或修復(fù)體的個...

濺鍍靶材是一種用于濺射鍍膜技術(shù)的重要材料，廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)、太陽能等領(lǐng)域，對于改善材料表面性能具有重要作用。其價格走勢受多方面因素影響，包括供求關(guān)系、市場需求、原...

電鍍靶材是半導(dǎo)體制造過程中的重要材料之一，其在半導(dǎo)體器件制造中具有廣闊的應(yīng)用前景。隨著半導(dǎo)體工藝的不斷發(fā)展和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速增長，電鍍靶材的需求也在不斷增加。本文將...

簡單地說，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料，通過更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。目前，(純度)濺射靶材按...

鈦合金具有低密度、高比強(qiáng)度、耐蝕耐熱等諸多優(yōu)點(diǎn)，在航空航天工業(yè)得到廣泛應(yīng)用。然而，航空發(fā)動機(jī)工況復(fù)雜，工作時溫度可達(dá)600℃以上[1－3]，在這種高溫、長時工作的苛刻要求下，發(fā)動...

緊固件是把兩個或兩個以上零件（或部件）連接成為整體時所采用的一系列機(jī)械零件的總稱,是重要的通用基礎(chǔ)機(jī)電產(chǎn)品，在工業(yè)中具有舉足輕重的作用,被譽(yù)為“工業(yè)之米”1]。緊固件材料...

鈦金屬化學(xué)元素，外觀呈銀白色，有金屬光澤，它的重量輕、強(qiáng)度高，能耐濕氯腐蝕。1971年，英國化學(xué)愛好者格雷戈?duì)柺状卧诘V物質(zhì)中發(fā)現(xiàn)了鈦。鈦的天然礦石主要為分布于地殼和巖石圈的鈦...

引言3D打印又稱增材制造技術(shù)，是一種以三維軟件模型文件為基礎(chǔ)，通過逐層打印材料并疊加的方式制造復(fù)雜實(shí)體零件的先進(jìn)制造技術(shù)。經(jīng)過數(shù)十年的高速發(fā)展，3D打印技術(shù)已在科研、制造...

1、前言化工生產(chǎn)中，設(shè)備腐蝕是重大難題。由于腐蝕，每年浪費(fèi)的鋼材數(shù)量巨大。在我國，化工行業(yè)設(shè)備損壞的主要原因也是由于腐蝕。因此，使不少設(shè)備使用壽命僅1～2年，最短的只有1~2個月...

引言鈦合金密度低、比強(qiáng)度高、耐蝕性好，在航空航天、軍工、運(yùn)動器械和化工等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛［1-6］?，F(xiàn)代航空發(fā)動機(jī)零件多采用鎳基高溫合金制造［7］，不利于提高航空發(fā)動機(jī)的推重比。采...

前 言鈦合金 以其 比強(qiáng)度高、耐腐蝕能力強(qiáng) 以及耐熱耐冷性能好等特 點(diǎn)被人們譽(yù) 為 “魔力”金屬或 “神奇”金屬 ，先后在航空航天 、海洋 發(fā)電以及化工冶金等方面得到應(yīng)用 。...

海洋具有潛在的巨大經(jīng)濟(jì)利益和戰(zhàn)略性地位。開發(fā)海洋資源，必須要發(fā)展重大海洋工程裝備，而海洋新材料將在其中發(fā)揮關(guān)鍵性作用，是海洋產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)和支撐。我國海洋材料開發(fā)剛剛起步...

1、 前言由于鈦合金具有高比強(qiáng)度、低密度、優(yōu)異的耐腐蝕性能以及生物相容性好等優(yōu)點(diǎn)，近年來，在航空航天、生物醫(yī)學(xué)、石油化工和交通運(yùn)輸?shù)葒裆a(chǎn)支柱行業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用。...

近年來，我國高新技術(shù)領(lǐng)域迅猛發(fā)展，航空航天、海洋工程、石油化工及武器裝備等高端領(lǐng)域結(jié)構(gòu)件正向輕量化、高強(qiáng)化、高可靠性和耐久性等極端服役性能發(fā)展，鈦合金因其比強(qiáng)度高、耐...

1 引言鎳鈦合金是一種形狀記憶合金，在奧氏體狀態(tài)下具有超彈性特性，具有良好的機(jī)械性能，優(yōu)良的耐腐蝕性及生物相容性，在工業(yè)自動化控制，醫(yī)療器械等領(lǐng)域有極其重要的應(yīng)用。傳統(tǒng)超彈...

在航空航天設(shè)備中，無論是從數(shù)量上來講，還是從范圍上來講，緊固件都無疑是諸多通用零件中使用最多的。然而，我國由于基礎(chǔ)科學(xué)研究的滯后，導(dǎo)致航空航天緊固件的質(zhì)量水平與國外企業(yè)對...

薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)具有輕薄、功耗低、成本低等優(yōu)點(diǎn)，其相關(guān)產(chǎn)品已經(jīng)深入社會生活的方方面面，從智能手機(jī)、平板電腦到大尺寸液晶電視等，TFT-LCD大約占80%以上的顯示...

前言激光加工技術(shù)作為一種先進(jìn)的加工手段，在現(xiàn)代航空航天、國防領(lǐng)域以及國家建設(shè)中扮演著越來越重要的角色。特別是在鈦合金加工領(lǐng)域，2000年以后，隨著高功率激光器品質(zhì)的不斷提...